Ujung Efektor Keramik Alumina Kemurnian Tinggi untuk Robot Penanganan Wafer

Ujung efektor keramik alumina St.Cera diproses secara presisi dari Al₂O₃ dengan kemurnian tinggi 99,8% menggunakan peralatan penggilingan CNC 5 sumbu canggih. Kemampuan manufaktur kami mencakup mesin penggilingan presisi dan pusat permesinan CNC, yang memungkinkan geometri kompleks dengan presisi tinggi. Ujung efektor ini memiliki profil tipis (setipis 1,5 mm) dengan ujung depan yang meruncing untuk penyisipan wafer yang halus. Material ini memberikan kekakuan tinggi (modulus Young 380 GPa), ketahanan aus yang sangat baik, dan stabilitas termal hingga 800°C. Setiap unit digiling secara presisi untuk mencapai kerataan 0,003 mm, paralelisme 0,002 mm, dan hasil akhir permukaan Ra0,1, memastikan kontak wafer yang konsisten dan operasi bebas partikel di lingkungan FAB semikonduktor. Tersedia dalam panjang 150 mm hingga 450 mm, dengan geometri ujung khusus (pegangan tepi, Bernoulli, datar) dan flensa pemasangan agar sesuai dengan robot OEM. Pilihan penyelesaian permukaan meliputi dipoles, dihaluskan, atau lapisan disipatif ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq).

Spesifikasi (berdasarkan 99,8% Al)₂O₃(Kemampuan manufaktur St.Cera):

Aplikasi:

• • Transfer wafer dalam robot vakum dan atmosfer
• • Ujung penggerak otomatisasi FAB untuk wafer 200mm/300mm
• • Penanganan wafer tipis (dengan opsi ESD)

Kemampuan Manufaktur:
Mesin gerinda presisi dan pusat permesinan CNC kami memungkinkan produksi komponen keramik kompleks dengan:

• · Panjang pemesinan maksimum: 1500 mm
• · Diameter luar maksimum: 600 mm
• · Diameter dalam minimum: 0,2 mm
• · Ketebalan maksimum: 100 mm

Kontrol Kualitas:
Kelurusan 0,005 mm, tegak lurus 0,005 mm, kebulatan 0,002 mm, paralelisme 0,002 mm, konsentrisitas 0,01 mm diverifikasi oleh CMM. Setiap unit dibersihkan secara ultrasonik dan dikemas dalam ruang bersih Kelas 100.