Chuck Vakum Alumina untuk Pemotongan dan Penggilingan Presisi
Chuck vakum alumina St.Cera diproduksi dari Al₂O₃ dengan kemurnian tinggi 99,8% dengan alur vakum yang dikerjakan secara presisi. Kemampuan penggilingan presisi kami mencapai kerataan 0,003 mm dan paralelisme 0,002 mm, memastikan fiksasi wafer tanpa distorsi selama pemotongan, penggilingan sisi belakang, dan inspeksi. Material ini menawarkan kekuatan lentur tinggi (361 MPa), kekerasan (16 GPa), dan stabilitas termal hingga 800°C. Tersedia dalam format bulat hingga diameter luar (OD) 600 mm dan bentuk persegi panjang hingga panjang 1500 mm. Alur vakum dirancang khusus (pola konsentris, radial, atau kisi) untuk memenuhi persyaratan proses tertentu. Setiap chuck diperiksa dengan interferometer laser dan dilengkapi dengan laporan verifikasi kerataan.
Spesifikasi (berdasarkan 99,8% Al)₂O₃(Kemampuan manufaktur St.Cera):
| Milik | Nilai |
| Bahan | 99,8% Alumina (Gading) |
| Kepadatan | 3,93 g/cm³ |
| Kekuatan Lentur | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Diameter Luar (maks) | 600 mm |
| Ketebalan (maks) | 100 mm |
| Panjang (maks) | 1500 mm |
| Kebosanan | 0,003 mm |
| Paralelisme | 0,002 mm |
| Lapisan Permukaan | Ra0.1 |
| Suhu Operasi Maksimum | 800°C |
Aplikasi:
- • Pemotongan dan pengukiran wafer (200mm/300mm dan lebih besar)
- • Penggilingan bagian belakang wafer tipis
- • Inspeksi dan pemeriksaan optik
- • Penanganan substrat berukuran besar
Presisi Manufaktur:
- · Kelurusan: 0,005 mm
- · Tegak lurus: 0,005 mm
- · Kebulatan: 0,002 mm
- · Konsentrisitas: 0,01 mm
