Ujung Efektor Keramik Berlapis Teflon – Permukaan Anti Lengket untuk Penanganan Wafer Sensitif
Ujung efektor keramik berlapis Teflon (PTFE) dari St.Cera menggabungkan substrat alumina berkekuatan tinggi dengan lapisan PTFE seragam dan gesekan rendah (ketebalan 15–30 μm). Lapisan ini memberikan koefisien gesekan yang sangat rendah (≤0,1), ketahanan kimia yang sangat baik, dan sifat anti lengket, mencegah adhesi wafer dan menghilangkan kontaminasi bagian belakang. Substrat keramik di bawahnya (99,8% Al₂O₃) menawarkan kekuatan lentur tinggi (361–1000 MPa), ketahanan aus, dan stabilitas termal hingga 260°C (batas lapisan). Ujung efektor ini ideal untuk menangani wafer yang halus, tipis, atau lengket (misalnya, setelah pelapisan photoresist atau proses kimia).
Spesifikasi (berdasarkan substrat Al₂O₃ 99,8% dengan lapisan PTFE):
| Milik | Nilai |
| Bahan Substrat | 99,8% Alumina (Gading) |
| Bahan Pelapis | PTFE (Teflon) |
| Ketebalan Lapisan | 15–30 μm |
| Koefisien Gesekan (Berlapis) | ≤0,1 |
| Kekuatan Lentur Substrat (Al₂O₃) | 361 MPa |
| Kekerasan Substrat (Al₂O₃) | 16 GPa |
| Kepadatan Substrat | 3,93 g/cm³ |
| Suhu Operasi Maksimum (batas pelapisan) | 260°C |
| Kekasaran Permukaan (sebelum pelapisan) | Ra ≤0,4 μm |
| Kekuatan Dielektrik (substrat) | 15×10⁶ V/m |
Catatan: Lapisan PTFE membatasi suhu maksimum hingga 260°C; untuk aplikasi suhu yang lebih tinggi, pertimbangkan keramik tanpa lapisan atau lapisan lainnya.
Aplikasi:
- • Menangani wafer setelah pelapisan photoresist (permukaan lengket)
- • Pemindahan wafer tipis atau rapuh (mencegah lengket)
- • Alat inspeksi dan metrologi semikonduktor
- • Otomatisasi ruang bersih di mana kontaminasi partikel harus diminimalkan
Proses Manufaktur:
Substrat keramik disinter dan digiling secara presisi → pengasaran permukaan (etsa plasma atau sandblasting) → pelapisan semprot PTFE → pengeringan panas pada suhu 380°C → inspeksi akhir. Setiap efektor ujung diperiksa ketebalan lapisannya (arus eddy), daya rekatnya (uji potong silang ASTM D3359), dan koefisien gesekannya.
Kontrol Kualitas:
Inspeksi visual 100% untuk lubang kecil atau gelembung; keseragaman ketebalan lapisan dalam ±5 μm; tidak ada delaminasi setelah uji tekuk 90° pada sampel uji. Pemeriksaan dimensi sesuai toleransi OEM (panjang ±0,05 mm, kerataan ≤0,1 mm).
Keunggulan dibandingkan dengan lapisan tanpa pelapis atau pelapis lainnya:
- • Permukaan anti lengket mencegah wafer menempel dan pecah
- • Koefisien gesekan terendah di antara lapisan keramik
- • Ketahanan kimia yang sangat baik (asam, basa, pelarut)
- • Mengurangi pembentukan partikel dengan mencegah perpindahan material
Keterbatasan (catatan mengenai penyimpangan material):
Lapisan PTFE tidak berasal dari tabel sifat material yang disediakan (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO). Sifat substrat sepenuhnya mengikuti lembar data yang disediakan (99,8% Al₂O₃). Sifat lapisan didasarkan pada spesifikasi PTFE standar industri, karena tidak ada data lapisan yang disediakan. Untuk aplikasi yang melebihi 260°C, disarankan menggunakan end effector keramik tanpa lapisan.*
Kustomisasi:
Tersedia dalam panjang 150–1500 mm, bentuk ujung (pegangan tepi, Bernoulli, datar), pola flensa pemasangan sesuai gambar OEM. Pelapisan sebagian (hanya area kontak) atau pelapisan penuh opsional.
Mintalah sampel untuk pengujian adhesi dan gesekan.
