-
Ujung Efektor Keramik Alumina Kemurnian Tinggi untuk Robot Penanganan Wafer
Ujung efektor keramik alumina St.Cera diproses secara presisi dari Al₂O₃ dengan kemurnian tinggi 99,8% menggunakan peralatan penggilingan CNC 5 sumbu canggih. Kemampuan manufaktur kami mencakup mesin penggilingan presisi dan pusat permesinan CNC, yang memungkinkan geometri kompleks dengan presisi tinggi. Ujung efektor ini memiliki profil tipis (setipis 1,5 mm) dengan ujung depan yang meruncing untuk penyisipan wafer yang halus. Material ini memberikan kekakuan tinggi (modulus Young 380 GPa), ketahanan aus yang sangat baik, dan stabilitas termal hingga 800°C. Setiap unit digiling secara presisi untuk mencapai kerataan 0,003 mm, paralelisme 0,002 mm, dan hasil akhir permukaan Ra0,1, memastikan kontak wafer yang konsisten dan operasi bebas partikel di lingkungan FAB semikonduktor. Tersedia dalam panjang 150 mm hingga 450 mm, dengan geometri ujung khusus (pegangan tepi, Bernoulli, datar) dan flensa pemasangan agar sesuai dengan robot OEM. Pilihan penyelesaian permukaan meliputi dipoles, dihaluskan, atau lapisan disipatif ESD (10⁶–10⁹ Ω/sq).
-
ST.CERA Customized Alumina Ceramic Bernoulli end effector
Sebagai produsen terkemuka End Effector/Handling Arm keramik, kami telah mengembangkan End Effector/Handling Arm yang tidak konvensional yang menjawab kebutuhan pasar tersebut. End Effector/Handling Arm keramik berbasis Prinsip Bernoulli ini dapat melayang dan mengangkut wafer melalui aliran udara dengan kontak periferal minimal.
-
ST.CERA Ujung Efektor Keramik ESD yang Disesuaikan
Dengan fitur ketahanan suhu tinggi, ketahanan korosi, ketahanan abrasi, dan isolasi, keramik dapat digunakan dalam berbagai jenis peralatan produksi semikonduktor dengan kondisi suhu tinggi, vakum, atau gas korosif dalam waktu lama.
-
ST.CERA Ujung penjepit keramik alumina yang disesuaikan
Dengan fitur tahan suhu tinggi, tahan korosi, tahan abrasi, dan isolasi, keramik dapat bekerja dalam berbagai jenis peralatan produksi semikonduktor dengan kondisi suhu tinggi, vakum, atau gas korosif dalam waktu lama.
-
ST.CERA Ujung efektor baki keramik alumina yang disesuaikan
Ini adalah End Effector/Handling Arm keramik tipe baki yang digunakan dalam kondisi vakum.
Ujung lengan/penangan keramik lebih tahan panas, kurang mudah terdefleksi, dan lebih ringan dibandingkan dengan yang berbahan logam.
-
ST.CERA Penggerak akhir vakum keramik alumina yang disesuaikan
Dengan fitur tahan suhu tinggi, tahan korosi, tahan abrasi, dan isolasi, keramik dapat bekerja dalam berbagai jenis peralatan produksi semikonduktor dengan kondisi suhu tinggi, vakum, atau gas korosif dalam waktu lama.
-
ST.CERA Ujung Efektor Keramik Alumina yang Disesuaikan
ST.CERA menawarkan lapisan ESD dan material keramik ESD untuk End Effector. Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, material ini dapat mencapai toleransi dimensi ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu 1600℃.
-
ST.CERA Ujung Efektor Vakum Keramik Alumina yang Disesuaikan
Ini adalah End Effector/Handling Arm keramik tipe baki yang digunakan dalam kondisi vakum.
Ujung lengan/penangan keramik lebih tahan panas, kurang mudah terdefleksi, dan lebih ringan dibandingkan dengan yang berbahan logam.
Dengan fitur tahan suhu tinggi, tahan korosi, tahan abrasi, dan isolasi, keramik dapat bekerja dalam berbagai jenis peralatan produksi semikonduktor dengan kondisi suhu tinggi, vakum, atau gas korosif dalam waktu lama.
Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, produk ini dapat mencapai toleransi dimensi hingga ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu hingga 1600℃.
-
ST.CERA Penanganan Wafer Ujung Efektor Keramik Alumina yang Disesuaikan
ST.CERA menawarkan pelapisan ESD dan material keramik ESD untuk End Effector / Handling Arm dengan saluran berongga terintegrasi. Kami mengkhususkan diri dalam teknik yang membentuk saluran udara vakum di dalam satu bagian material tanpa menggunakan perekat.
Tidak ada risiko kontaminasi, pelepasan gas, atau partikel. End Effector/Handling Arm vakum ST.CERA dengan teknologi pelapisan khusus bersifat isolasi listrik. Kami juga dapat menyediakan material keramik ESD yang bersifat isolasi listrik tanpa lapisan apa pun.
Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, produk ini dapat mencapai toleransi dimensi hingga ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu hingga 1600℃. -
Komponen Peralatan Semikonduktor Ujung Efektor Keramik Alumina
Mencegah partikel yang dapat dihasilkan dari tepi miring atau sudut dan permukaan belakang saat wafer diangkut atau bersentuhan dengan End Effector / Handling Arm.
Untuk pemandu, digunakan material lunak yang tidak merusak wafer.
Penipisan dimungkinkan dengan teknologi saluran vakum bawaan ST.CERA yang tidak menggunakan perekat.
Dimungkinkan untuk membuat lubang pemasangan dan mengubah panjang serta lebar alas tempat End Effector / Lengan Pengendali dipasang pada robot.
Pemasangan sensor, sekrup, dan braket tersedia sebagai pilihan tambahan.
Dirancang untuk digunakan di atmosfer.
-
Pemesinan CNC Kustom untuk Ujung Efektor Keramik St.Cera
ST.CERA menawarkan End Effector/Handling Arm keramik vakum dengan saluran berongga terintegrasi. Kami mengkhususkan diri dalam teknik yang membentuk saluran udara vakum di dalam satu bagian material tanpa menggunakan perekat.
Tidak ada risiko kontaminasi, pelepasan gas, atau partikel. End Effector/Handling Arm vakum ST.CERA dengan saluran terintegrasi tahan lama dan dapat digunakan pada suhu tinggi. Selain itu, biaya produksi kami dapat dikurangi dengan menghilangkan perakitan yang tidak perlu.
Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, produk ini dapat mencapai toleransi dimensi hingga ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu hingga 1600℃.
-
Ujung Efektor Keramik Anti-Statik Alumina
Dengan fitur tahan suhu tinggi, tahan korosi, tahan abrasi, dan isolasi, keramik dapat bekerja dalam berbagai jenis peralatan produksi semikonduktor dengan kondisi suhu tinggi, vakum, atau gas korosif dalam waktu lama.
Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, produk ini dapat mencapai toleransi dimensi hingga ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu hingga 1600℃.
