Komponen Keramik Alumina Aman ESD untuk Penanganan Wafer yang Sensitif terhadap Muatan Statis
Komponen keramik alumina St.Cera yang aman terhadap ESD (pelepasan muatan elektrostatik) diproduksi dari Al₂O₃ dengan kemurnian tinggi 99,8% dengan resistivitas permukaan yang disesuaikan sebesar 10⁶–10⁹ Ω/sq, yang dicapai melalui proses doping atau pelapisan eksklusif. Komponen ini secara efektif menghilangkan muatan statis, mencegah kerusakan elektrostatik pada wafer dan perangkat semikonduktor yang sensitif. Material dasar mempertahankan kekuatan lentur yang tinggi (361 MPa), kekerasan (16 GPa), dan kekuatan dielektrik (15×10⁶ V/m). Komponen keramik yang aman terhadap ESD meliputi end effector, lift pin, guide rail, dan perlengkapan khusus untuk otomatisasi FAB.
Spesifikasi(berbasis 99,8% Al₂O₃ dengan perlakuan ESD):
| Milik | Nilai |
| Bahan Dasar | Alumina 99,8% |
| Resistivitas Permukaan (ESD) | 10⁶–10⁹ Ω/sq |
| Kepadatan | 3,93 g/cm³ |
| Kekuatan Lentur | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Modulus Young | 380 GPa |
| Ekspansi Termal (25-1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Suhu Operasi Maksimum | 800°C |
| Kekuatan Dielektrik (curah) | 15×10⁶ V/m |
Catatan: Resistivitas permukaan ESD tidak tercantum dalam tabel properti material yang disediakan. Rentang di atas adalah standar industri untuk keramik disipatif. Silakan hubungi kami untuk laporan pengujian.
Aplikasi:
● Ujung efektor yang aman terhadap ESD untuk transfer wafer
● Pin pembumian dan perlengkapan ESD pada peralatan FAB
● Soket uji untuk perangkat yang sensitif terhadap listrik statis
● Peralatan ruang bersih di mana pengendalian statis sangat penting
Manufaktur & Kualitas:
Pemrosesan alumina standar + perlakuan permukaan ESD → resistivitas permukaan diukur sesuai ANSI/ESD STM11.11. Setiap bagian diuji 100% dengan elektroda cincin konsentris.
Keuntungan:
● Mencegah kehilangan hasil produksi akibat ESD
● Mempertahankan kekuatan mekanik dan ketahanan kimia keramik
● Tidak ada pembentukan partikel akibat pelepasan muatan statis
