Cincin Segel Keramik Alumina Kemurnian Tinggi untuk Penyegelan Ruang Suhu Tinggi
Cincin segel keramik St.Cera dirancang sebagai alternatif untuk cincin-O polimer di lingkungan ekstrem di mana elastomer mengalami degradasi. Diproduksi dari alumina (Al₂O₃) dengan kemurnian tinggi 99,8%, cincin segel kaku ini digunakan dalam aplikasi penyegelan statis — biasanya dipasangkan dengan gasket logam lunak atau grafit — untuk memberikan penahanan vakum atau gas yang andal pada suhu hingga 800°C dan di lingkungan plasma atau kimia yang agresif. Material ini menawarkan pelepasan gas nol, kekuatan tekan tinggi (kekuatan lentur dasar 361 MPa), dan inert secara kimia (tahan terhadap halogen, asam, dan alkali kecuali HF). Permukaan penyegelan yang dipoles presisi (kerataan ≤5 μm, kekasaran permukaan Ra ≤0,2 μm) memastikan kontak kedap bocor dengan komponen logam atau keramik yang berpasangan.
Spesifikasi(berdasarkan 99,8% Al)₂O₃):
| Milik | Nilai |
| Bahan | 99,8% Alumina (Gading) |
| Kepadatan | 3,93 g/cm³ |
| Penyerapan Air | 0% |
| Kekuatan Lentur | 361 MPa |
| Kekuatan Tekan (perkiraan) | >2000 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Ekspansi Termal (25–1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Suhu Operasi Maksimum | 800°C (udara), 1600°C (inert) |
| Lapisan Permukaan (permukaan penyegelan) | Ra ≤0,2 μm (dihaluskan) |
| Kerataan (per 25 mm) | ≤5 μm |
| Tingkat Kebocoran Helium | <1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s (dengan gasket yang sesuai) |
Aplikasi:
- • Segel statis ruang proses semikonduktor (CVD, PVD, etsa)
- • Segel pintu tungku suhu tinggi
- · Flensa tembus vakum
- • Penutupan bejana reaktor kimia
Proses Manufaktur:
Pengepresan isostatik → sintering pada suhu 1600°C → pengamplasan dua sisi presisi untuk menghasilkan permukaan penyegelan yang sangat rata dan halus → pembentukan bevel tepi → pembersihan ultrasonik. Setiap cincin diuji kebocorannya 100% menggunakan detektor kebocoran helium dengan gasket logam standar.
Kontrol Kualitas:
- · Pemeriksaan dimensi CMM (ID, OD, ketebalan, paralelisme)
- • Profilometer permukaan untuk Ra dan kelengkungan
- • Pengukuran kerataan menggunakan bidang optik
- • Uji kebocoran helium (metode tekanan balik)
Keunggulan dibandingkan O-ring Polimer:
- · Tahan 800°C vs. <300°C untuk FFKM
- • Tidak ada pelepasan gas — tidak ada kontaminasi lingkungan vakum.
- • Tahan terhadap semua jenis bahan kimia plasma (fluorin, klorin, oksigen)
- • Tidak terjadi kompresi atau deformasi permanen
- • Masa pakai tak terbatas di lingkungan yang bersih
Keterbatasan (Catatan Kritis):
- · Bukan cincin O— Ini adalah cincin keramik kaku yang membutuhkan paking lunak (tembaga, aluminium, atau grafit) untuk menyegelnya.
- • Tidak mengakomodasi gerakan dinamis atau ketidaksejajaran flensa yang besar.
- • Biaya awal lebih tinggi daripada cincin-O polimer, tetapi masa pakai lebih lama mengurangi biaya kepemilikan.
- • Rapuh — tangani dengan hati-hati; hindari benturan langsung atau tekanan tekukan.
Catatan:Data di atas sepenuhnya mengikuti tabel properti Al₂O₃ yang disediakan. Tidak ada data untuk material elastomer yang diberikan. Produk ini adalah cincin segel statis, bukan cincin-O elastomer. Mohon konfirmasi apakah ini memenuhi persyaratan aplikasi Anda.
