Ujung Efektor Keramik Alumina dengan Saluran Vakum Terintegrasi
Ujung efektor vakum alumina St.Cera mengintegrasikan saluran vakum dan lubang hisap yang dikerjakan dengan presisi langsung ke dalam badan alumina dengan kemurnian tinggi 99,8%. Desain ini menghilangkan bantalan vakum eksternal, memungkinkan pengambilan wafer langsung dengan gaya penahan yang seragam. Kekuatan lentur (361 MPa) dan kekerasan (16 GPa) material yang tinggi memastikan stabilitas dimensi jangka panjang di bawah siklus vakum berulang. Kerataan di seluruh area bantalan dipertahankan dalam 10 μm, mencegah tekanan dan kerusakan wafer. Port vakum terletak di flensa pemasangan belakang untuk integrasi yang mudah dengan lengan robot OEM.
Spesifikasi(Berbasis pada 99,8% Al₂O₃):
| Milik | Nilai |
| Bahan | 99,8% Alumina (Gading) |
| Kepadatan | 3,93 g/cm³ |
| Kekuatan Lentur | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Modulus Young | 380 GPa |
| Ekspansi Termal | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Kerataan Bantalan | ≤10 μm |
| Lebar Saluran Vakum | 0,5–2,0 mm |
| Suhu Operasi Maksimum | 800°C |
Aplikasi:
● Pengambilan wafer tipis atau melengkung dengan vakum
● Penanganan wafer langsung tanpa penjepitan tepi
● Transfer substrat sel surya dan LED
Manufaktur:
Bahan baku alumina yang disinter → pengeboran saluran dan lubang vakum CNC 5 sumbu → pengamplasan permukaan → pembersihan ultrasonik → uji kebocoran helium. Setiap efektor diuji aliran 100% untuk keseragaman vakum.
Keuntungan:
● Tidak memerlukan bantalan vakum eksternal (mengurangi sumber partikel)
● Tekanan penahan yang seragam mencegah terjadinya penandaan pada wafer
● Inert secara kimia dan kompatibel dengan ruang bersih
