Chuck Vakum Standar Berbasis Alumina – Kekakuan Tinggi untuk Pemesinan Presisi
Chuck vakum berbahan dasar alumina ini diproduksi dari 99,8% Al₂O₃, menawarkan permukaan halus tanpa pori dengan pola alur vakum khusus. Chuck ini memberikan kekakuan luar biasa (modulus Young 380 GPa) dan kerataan (≤3 μm), menjadikannya ideal untuk penggilingan presisi, penggosokan, dan pemotongan wafer semikonduktor dan komponen optik. Konduktivitas termal material yang tinggi (32 W/m·k) memastikan keseragaman suhu selama pemrosesan.
Spesifikasi(berdasarkan 99,8% Al)₂O₃):
| Milik | Nilai |
| Bahan | 99,8% Alumina (Gading) |
| Kepadatan | 3,93 g/cm³ |
| Kekuatan Lentur | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Modulus Young | 380 GPa |
| Konduktivitas Termal | 32 W/m·k |
| Kebosanan | ≤3 μm (lebih dari 200 mm) |
| Kekasaran Permukaan (sisi chuck) | Ra ≤0,4 μm |
| Suhu Operasi Maksimum | 800°C |
Aplikasi:
- • Penggilingan bagian belakang wafer (kasar dan halus)
- • Pemotongan presisi pada material rapuh
- • Pengamplasan substrat keramik
- • Pemolesan lensa optik
Manufaktur:
Pengasahan presisi kedua sisi → pembuatan alur berlian (opsional) → pembulatan tepi → pembersihan ultrasonik → pemeriksaan kerataan 100% dengan interferometer laser.
AKeuntungan:
- • Penopang yang kokoh meminimalkan defleksi akibat beban.
- • Tidak ada pembentukan partikel dari struktur berpori
- • Mudah dibersihkan (kompatibel dengan lap pelarut)
- • Alur vakum dapat disesuaikan (konsentris, radial, pola khusus)
Ukuran yang Tersedia:
Bulat: 100mm, 150mm, 200mm, 300mm; persegi/persegi panjang sesuai permintaan.
Kami juga menawarkan versi berbahan dasar logam untuk kekuatan mekanik yang lebih tinggi.
