Pelat Distribusi Gas Alumina untuk Kepala Pancuran CVD/PVD
Pelat distribusi gas (showerhead) St.Cera diproses secara presisi dari keramik alumina dengan kemurnian tinggi 99,8%. Pelat ini memiliki serangkaian lubang mikro (diameter 0,3–1,5 mm) yang memastikan aliran gas seragam di seluruh permukaan wafer selama proses CVD, PVD, atau ALD. Kekuatan dielektrik yang tinggi (>15×10⁶ V/m) dan ketahanan terhadap plasma menjadikan pelat ini sangat penting untuk deposisi lapisan tipis semikonduktor.
Spesifikasi:
| Milik | Nilai |
| Bahan | 99,8% Al₂O₃ atau SiC |
| Diameter | 100 – 1500mm (bulat) atau persegi panjang |
| Ketebalan | 5 – 20 mm |
| Diameter Lubang | 0,3 – 1,5 mm |
| Pola Lubang | Kustom (segitiga, persegi, radial) |
| Kebosanan | ≤10 μm di seluruh area |
| Kekasaran Permukaan | Ra ≤0,6 μm (sisi gas) |
| Rasio Area Terbuka | 5–15% |
Aplikasi:
Pelat kepala pancuran PECVD
Injektor gas ALD
Pelat distribusi gas ruang etsa
Komponen reaktor MOCVD
Manufaktur:
Substrat alumina diratakan → pengeboran CNC dengan alat berlapis berlian (toleransi posisi lubang ±0,02 mm) → penghilangan gerinda → pembersihan ultrasonik → pengemasan Kelas 100.
Kontrol Kualitas:
Setiap pelat diperiksa 100% untuk ukuran lubang (sistem penglihatan), kerataan (interferometer laser), dan keseragaman aliran gas (pemetaan tekanan). Tidak ada retakan mikro di bawah mikroskop 20x.
Keunggulan dibandingkan pelat logam:
Tidak ada kontaminasi logam dalam film tipis.
Generasi partikel lebih rendah (tidak ada serpihan korosi)
Tahan terhadap plasma pembersih yang agresif (CF₄, NF₃)
Fitur Kustom:
Saluran gas di bagian belakang, lubang yang diperbesar, segel tepi, dan berbagai tingkatan material (SiC untuk konduktivitas termal yang lebih tinggi, lapisan Y₂O₃ untuk ketahanan terhadap plasma).
Kami menyediakan verifikasi CAD dan simulasi aliran sebelum proses manufaktur.
