Pin Penyangga Keramik untuk Perlengkapan Proses Semikonduktor
Pin penyangga keramik St.Cera (juga dikenal sebagai pin pengangkat atau pin penyangga) digunakan dalam ruang proses semikonduktor untuk mengangkat wafer atau substrat selama penanganan, pemanasan, atau pendinginan. Diproduksi dari 99,8% alumina atau silikon nitrida, pin ini menawarkan kekuatan tekan yang tinggi, stabilitas termal, dan ketahanan kimia. Desain ujung setengah bola atau datar mencegah goresan pada wafer.
Spesifikasi(Alumina 99,8%):
| Milik | Nilai |
| Bahan | 99,8% Al₂O₃ atau Si₃N₄ |
| Panjang | 10 – 100 mm |
| Diameter | 1 – 10 mm |
| Bentuk Ujung | Datar, setengah bola, runcing |
| Kekuatan Tekan (Al₂O₃) | >2000 MPa |
| Suhu Operasi Maksimum (Al₂O₃) | 1600°C |
| Lapisan Permukaan | Digerinda (Ra ≤0,4 μm) |
| Toleransi Diameter | ±0,01 mm |
Aplikasi:
Pin pengangkat di ruang CVD/PVD
Pin penyangga untuk memanggang di atas kompor listrik
Struktur pendukung kartu probe
Penyangga perahu tungku kuarsa
Manufaktur:
Penggilingan tanpa pusat presisi pada diameter luar → penggilingan berlian pada profil ujung → pembersihan ultrasonik → inspeksi dimensi 100%.
Kontrol Kualitas:
CMM untuk pengukuran panjang/diameter, komparator optik untuk radius ujung, pengujian beban untuk memverifikasi kekuatan tekan (sampel acak per lot). Tidak ada kontaminasi feromagnetik (diverifikasi dengan magnet).
Keunggulan dibandingkan Pin Logam atau Kuarsa:
Masa pakai 5 kali lebih lama daripada baja tahan karat.
Tidak ada kontaminasi logam di ruang proses.
Kemampuan suhu lebih tinggi daripada kuarsa (1600°C vs 1100°C)
Permukaan anti lengket (mengurangi adhesi partikel)
Kustomisasi:
Tersedia berbagai profil ujung, alas berulir, atau poros meruncing.
Kami juga menyediakan pin SiC untuk lingkungan plasma ekstrem.
