Inti Keramik Alumina Kemurnian Tinggi untuk Perlengkapan Semikonduktor
Inti keramik alumina St.Cera dibentuk secara presisi dari Al₂O₃ dengan kemurnian tinggi 99,8%, menawarkan kekuatan dielektrik yang luar biasa (15×10⁶ V/m), stabilitas termal hingga 1600°C, dan ketahanan terhadap deformasi plastis (creep resistance) di bawah beban. Inti ini digunakan sebagai komponen struktural dalam perlengkapan proses suhu tinggi, alas pemanas, pelapis ruang plasma, dan isolator listrik. Kekerasan material yang tinggi (16 GPa) dan penyerapan air yang rendah (0%) memastikan keandalan jangka panjang di lingkungan yang keras.
Spesifikasi(berdasarkan 99,8% Al)₂O₃):
| Milik | Nilai |
| Bahan | 99,8% Alumina (Gading) |
| Kepadatan | 3,93 g/cm³ |
| Kekuatan Lentur | 361 MPa |
| Ketahanan Retak | 3–4 MPa·m¹/² |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Modulus Young | 380 GPa |
| Konduktivitas Termal | 32 W/m·k |
| Ekspansi Termal (25-1000°C) | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Kekuatan Dielektrik | 15×10⁶ V/m |
| Resistensi Spesifik | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Suhu Operasi Maksimum | 1600°C |
Aplikasi:
- • Inti pemanas untuk reaktor epitaksial
- • Pelapis dan pelat penutup ruang plasma
- • Isolator listrik tegangan tinggi
- • Dudukan untuk robot penanganan wafer
Manufaktur:
Pengepresan isostatik → pemesinan awal → sintering pada suhu 1600°C → penggerindaan CNC hingga dimensi akhir (toleransi ±0,01 mm). Setiap inti diperiksa dengan CMM dan deteksi cacat ultrasonik.
Penjaminan Mutu:
Bersertifikasi ISO 9001:2015. Pengujian penetrasi pewarna untuk retakan permukaan; pengujian kekuatan dielektrik sesuai ASTM D149.
AKeunggulan dibandingkan keramik lainnya:
- • Kekuatan dielektrik lebih tinggi daripada zirkonia (15 vs <10×10⁶ V/m)
- • Biaya lebih rendah daripada SiC untuk aplikasi non-plasma
- • Ketahanan kimia yang sangat baik terhadap halogen (kecuali HF)
Bentuk Kustom:
Silinder, batang persegi, pelat, atau geometri kompleks. Ukuran fitur minimum 0,5 mm.
Hubungi kami untuk desain inti khusus dan dukungan simulasi termal.
