Ujung Efektor Keramik Silikon Karbida (SiC) – Kekakuan Tinggi untuk Penanganan Wafer Suhu Tinggi
End effector keramik SiC St.Cera diproduksi dari silikon karbida kemurnian tinggi (kandungan SiC 99,72%, Si bebas 0,05%) menggunakan material batch S1111. End effector ini menawarkan sifat mekanik yang luar biasa: kekuatan lentur 449 MPa (terukur), modulus elastisitas 457 GPa (terukur), dan kekerasan Vickers 25–28 GPa (tipikal). Kepadatan rendah (3,10–3,15 g/cm³, tipikal) memberikan kekakuan spesifik yang tinggi, ideal untuk robot transfer wafer berkecepatan tinggi. Dengan konduktivitas termal 120–150 W/m·K (tipikal) dan koefisien ekspansi termal 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ (tipikal), end effector ini secara efektif menghilangkan panas dan mempertahankan stabilitas dimensi selama penanganan suhu tinggi (hingga 1600–1700°C, tanpa beban). Warna hitam/abu-abu dan daya serap air nol memastikan kompatibilitas dengan ruang bersih.
Spesifikasi(berdasarkan laporan uji SiC S1111 yang diberikan & nilai tipikal)):
| Milik | Nilai |
| Bahan | SiC (99,72% SiC, 0,05% Si Bebas) |
| Warna | Hitam/Abu-abu |
| Kepadatan | 3,10–3,15 g/cm³ |
| Penyerapan Air | 0% |
| Kekuatan Lentur | 449 MPa (rata-rata) |
| Ketahanan Retak | 3,12 MPa·m¹/² (rata-rata) |
| Modulus Elastisitas | 457 GPa |
| Kekerasan Vickers | 25–28 GPa |
| Konduktivitas Termal (25°C) | 120–150 W/m·K |
| CTE (25–1000°C) | 4,0–4,5×10⁻⁶/℃ |
| Suhu Penggunaan Maksimum (tanpa beban) | 1600–1700°C |
Aplikasi:
● Penanganan wafer suhu tinggi (pasca-anil, RTP, epitaksi)
● Ruang etsa plasma yang membutuhkan ketahanan erosi tinggi
● Robot transfer kecepatan tinggi (ringan, kekakuan tinggi)
Manufaktur:
Sinterisasi bubuk SiC → penggerindaan CNC presisi profil lengan dan fitur pemasangan → pemolesan permukaan → pembersihan ultrasonik. Inspeksi dimensi 100% dan uji kebocoran helium untuk aplikasi vakum.
Kontrol Kualitas:
● Inspeksi CMM untuk panjang, lebar, dan kerataan
● Uji kekuatan lentur per batch (sesuai standar laporan pengujian)
● Inspeksi visual di bawah mikroskop untuk mendeteksi cacat permukaan.
Keunggulan dibandingkan Alumina atau Logam:
● Modulus elastisitas 2 kali lebih tinggi (457 vs ~380 GPa untuk alumina) – defleksi lebih kecil
● Konduktivitas termal 3 kali lebih tinggi – pembuangan panas lebih cepat
● Mampu menahan suhu >1600°C dibandingkan alumina yang hanya 800°C di udara.
● Kepadatan lebih rendah daripada baja – pengurangan berat 40%
Kustomisasi:
Panjang 150–450 mm, bentuk ujung (pegangan tepi, Bernoulli, datar), pola flensa pemasangan sesuai gambar OEM.
*Semua data mekanis di atas berasal dari laporan uji yang diberikan (batch S1111). Nilai termal dan kekerasan adalah tipikal untuk jenis SiC ini; silakan hubungi kami untuk sertifikasi spesifik lot.*
