Lengan Robot Keramik Alumina Kemurnian Tinggi untuk Penanganan Wafer
Lengan robot keramik alumina St.Cera dirancang dengan presisi dari Al₂O₃ (alumina) dengan kemurnian tinggi 99,8%. Lengan ini menggabungkan kekuatan lentur yang luar biasa (361 MPa), kekerasan tinggi (16 GPa), dan kepadatan rendah (3,93 g/cm³), menghasilkan lengan yang ringan namun kaku untuk transfer wafer semikonduktor. Koefisien ekspansi termal material (7,2×10⁻⁶/°C) sangat mirip dengan silikon, meminimalkan ketidaksesuaian termal selama pemrosesan.
Spesifikasi (berdasarkan 99,8% Al₂O₃):
| Milik | Nilai |
| Warna | Gading |
| Kepadatan | 3,93 g/cm³ |
| Kekuatan Lentur | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Modulus Young | 380 GPa |
| Konduktivitas Termal | 32 W/m·k |
| Ekspansi Termal | 7,2×10⁻⁶/℃ |
| Kekuatan Dielektrik | 15×10⁶ V/m |
Aplikasi:
- Robot transfer wafer vakum (200mm/300mm)
- Sistem penanganan atmosfer
- Lengan efektor ujung untuk otomatisasi FAB
Proses Manufaktur:
Pengepresan isostatik → pemesinan awal → sintering pada suhu 1600°C → penggerindaan presisi CNC → pembersihan ultrasonik → pengemasan ruang bersih Kelas 100. Setiap lengan diperiksa 100% oleh CMM untuk kerataan (±0,01 mm) dan kekasaran permukaan (Ra ≤0,4 μm).
Kontrol Kualitas:
St.Cera bersertifikasi ISO 9001:2015. Kami melakukan pengujian penetrasi pewarna untuk retakan mikro, pengujian lentur tiga titik untuk kekuatan lentur, dan pengujian kekuatan dielektrik sesuai ASTM D149.
Keunggulan dibandingkan Lengan Logam:
- 50% lebih ringan dari baja tahan karat
- Tidak ada korosi galvanik
- Generasi partikel lebih rendah (≤0,05 partikel/cm²)
- Lapisan anti-ESD tersedia (10⁶–10⁹ Ω/sq)
Kustomisasi:
Panjang mulai dari 150mm hingga 450mm, bentuk ujung (pegangan tepi, Bernoulli, vakum), dan pola flensa pemasangan sesuai gambar OEM. Prototipe dalam 2 minggu.
Untuk pesanan dalam jumlah besar, silakan minta penawaran harga.
