-
ST.CERA Peralatan semikonduktor yang disesuaikan, Chuck keramik
Proses kritis di bidang semikonduktor perlu dilakukan di ruang bersih, terutama untuk perangkat yang harus digunakan dalam kondisi suhu tinggi, vakum, dan gas korosif. Keramik dapat mempertahankan stabilitas tinggi dalam lingkungan fisik dan kimia yang kompleks.
-
ST.CERA Peralatan semikonduktor yang disesuaikan Pelat keramik
Proses kritis di bidang semikonduktor perlu dilakukan di ruang bersih, terutama untuk perangkat yang harus digunakan dalam kondisi suhu tinggi, vakum, dan gas korosif. Keramik dapat mempertahankan stabilitas tinggi dalam lingkungan fisik dan kimia yang kompleks.
-
Cincin fokus keramik semikonduktor kustom ST.CERA
Proses kritis di bidang semikonduktor perlu dilakukan di ruang bersih, terutama untuk perangkat yang harus digunakan dalam kondisi suhu tinggi, vakum, dan gas korosif. Keramik dapat mempertahankan stabilitas tinggi dalam lingkungan fisik dan kimia yang kompleks.
-
Lengan Pemuat Keramik Alumina 99,5% Kustom ST.CERA
Ujung Penggerak/Lengan Penanganan Keramik dipasang pada robot penanganan wafer atau "ujung penggerak" dan digunakan untuk membawa wafer silikon ke dalam atau keluar dari kaset atau ruang proses.
Keuntungan menggunakan keramik adalah pengurangan defleksi karena kekuatan lentur yang tinggi, ketahanan terhadap suhu tinggi, dan penghilangan kontaminasi logam dan partikel. -
ST.CERA Ujung Efektor Keramik Alumina yang Disesuaikan
ST.CERA menawarkan lapisan ESD dan material keramik ESD untuk End Effector. Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, material ini dapat mencapai toleransi dimensi ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu 1600℃.
-
Cincin Fokus Keramik Semikonduktor Kustom ST.CERA
Terbuat dari keramik alumina dengan kemurnian tinggi (di atas 99,5%), dibentuk melalui proses pengepresan isostatik dingin dan disinter pada suhu tinggi, kemudian diolah dan dipoles secara presisi, komponen keramik ini dapat memenuhi persyaratan ketat peralatan semikonduktor dengan fitur ketahanan aus, ketahanan korosi, ekspansi termal rendah, dan isolasi.
Dengan fitur tahan suhu tinggi, tahan korosi, tahan abrasi, dan isolasi, keramik dapat bekerja dalam berbagai jenis peralatan produksi semikonduktor dengan kondisi suhu tinggi, vakum, atau gas korosif dalam waktu lama.
Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, produk ini dapat mencapai toleransi dimensi hingga ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu hingga 1600℃.
-
ST.CERA Bushing Keramik Alumina Presisi Semikonduktor yang Disesuaikan
Terbuat dari keramik alumina dengan kemurnian tinggi (di atas 99,5%), dibentuk melalui proses pengepresan isostatik dingin dan disinter pada suhu tinggi, kemudian diolah dan dipoles secara presisi, komponen keramik ini dapat memenuhi persyaratan ketat peralatan semikonduktor dengan fitur ketahanan aus, ketahanan korosi, ekspansi termal rendah, dan isolasi.
Dengan fitur tahan suhu tinggi, tahan korosi, tahan abrasi, dan isolasi, keramik dapat bekerja dalam berbagai jenis peralatan produksi semikonduktor dengan kondisi suhu tinggi, vakum, atau gas korosif dalam waktu lama.
Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, produk ini dapat mencapai toleransi dimensi hingga ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu hingga 1600℃.
-
ST.CERA Ujung Efektor Vakum Keramik Alumina yang Disesuaikan
Ini adalah End Effector/Handling Arm keramik tipe baki yang digunakan dalam kondisi vakum.
Ujung lengan/penangan keramik lebih tahan panas, kurang mudah terdefleksi, dan lebih ringan dibandingkan dengan yang berbahan logam.
Dengan fitur tahan suhu tinggi, tahan korosi, tahan abrasi, dan isolasi, keramik dapat bekerja dalam berbagai jenis peralatan produksi semikonduktor dengan kondisi suhu tinggi, vakum, atau gas korosif dalam waktu lama.
Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, produk ini dapat mencapai toleransi dimensi hingga ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu hingga 1600℃.
-
Tabung Keramik Alumina 99,5% dan Batang Keramik yang Disesuaikan dari ST.CERA
Dengan fitur tahan suhu tinggi, tahan korosi, tahan abrasi, dan isolasi, keramik dapat bekerja dalam berbagai jenis peralatan produksi semikonduktor dengan kondisi suhu tinggi, vakum, atau gas korosif dalam waktu lama.
Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, produk ini dapat mencapai toleransi dimensi hingga ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu hingga 1600℃.
-
ST.CERA Penanganan Wafer Ujung Efektor Keramik Alumina yang Disesuaikan
ST.CERA menawarkan pelapisan ESD dan material keramik ESD untuk End Effector / Handling Arm dengan saluran berongga terintegrasi. Kami mengkhususkan diri dalam teknik yang membentuk saluran udara vakum di dalam satu bagian material tanpa menggunakan perekat.
Tidak ada risiko kontaminasi, pelepasan gas, atau partikel. End Effector/Handling Arm vakum ST.CERA dengan teknologi pelapisan khusus bersifat isolasi listrik. Kami juga dapat menyediakan material keramik ESD yang bersifat isolasi listrik tanpa lapisan apa pun.
Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, produk ini dapat mencapai toleransi dimensi hingga ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu hingga 1600℃. -
Komponen Peralatan Semikonduktor Ujung Efektor Keramik Alumina
Mencegah partikel yang dapat dihasilkan dari tepi miring atau sudut dan permukaan belakang saat wafer diangkut atau bersentuhan dengan End Effector / Handling Arm.
Untuk pemandu, digunakan material lunak yang tidak merusak wafer.
Penipisan dimungkinkan dengan teknologi saluran vakum bawaan ST.CERA yang tidak menggunakan perekat.
Dimungkinkan untuk membuat lubang pemasangan dan mengubah panjang serta lebar alas tempat End Effector / Lengan Pengendali dipasang pada robot.
Pemasangan sensor, sekrup, dan braket tersedia sebagai pilihan tambahan.
Dirancang untuk digunakan di atmosfer.
-
Pemesinan CNC Kustom untuk Ujung Efektor Keramik St.Cera
ST.CERA menawarkan End Effector/Handling Arm keramik vakum dengan saluran berongga terintegrasi. Kami mengkhususkan diri dalam teknik yang membentuk saluran udara vakum di dalam satu bagian material tanpa menggunakan perekat.
Tidak ada risiko kontaminasi, pelepasan gas, atau partikel. End Effector/Handling Arm vakum ST.CERA dengan saluran terintegrasi tahan lama dan dapat digunakan pada suhu tinggi. Selain itu, biaya produksi kami dapat dikurangi dengan menghilangkan perakitan yang tidak perlu.
Terbuat dari bubuk alumina dengan kemurnian tinggi, diproses melalui pengepresan isostatik dingin, sintering suhu tinggi, dan penyelesaian presisi, produk ini dapat mencapai toleransi dimensi hingga ±0,001 mm, kekasaran permukaan Ra 0,1, dan ketahanan suhu hingga 1600℃.
