Pelat Keramik Alumina Format Besar untuk Perlengkapan Semikonduktor & Industri
St.Cera memproduksi pelat keramik format besar dari alumina (Al₂O₃) dengan kemurnian tinggi 99,8% dengan dimensi maksimum hingga panjang 1500 mm dan lebar 600 mm. Kemampuan penggilingan presisi kami mencapai kerataan 0,003 mm pada area 100 mm dan paralelisme 0,002 mm, memastikan kualitas permukaan yang konsisten untuk aplikasi area luas. Ketebalan hingga 100 mm, hasil akhir permukaan hingga Ra0,1. Pelat ini berfungsi sebagai alas chuck vakum, pelat pemanas, panel isolasi listrik, dan lantai ruang proses dalam manufaktur semikonduktor, display, dan fotovoltaik. Tersedia lubang tembus, lubang tirus, dan profil tepi.
Spesifikasi (berdasarkan 99,8% Al)₂O₃(Kemampuan manufaktur St.Cera):
| Milik | Nilai |
| Bahan | 99,8% Alumina (Gading) |
| Kepadatan | 3,93 g/cm³ |
| Kekuatan Lentur | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Kekuatan Dielektrik | 15×10⁶ V/m |
| Panjang Maksimum | 1500 mm |
| Lebar Maksimum | 600 mm |
| Ketebalan Maksimum | 100 mm |
| Kerataan (per 100mm) | 0,003 mm |
| Paralelisme | 0,002 mm |
| Lapisan Permukaan | Ra0.1 (diasah/dipoles) |
| Suhu Operasi Maksimum | 1600°C |
Aplikasi:
- • Pelat dasar penjepit vakum untuk wafer dan panel berukuran besar
- • Pelat pemanas untuk peralatan pemrosesan termal
- • Panel isolasi listrik pada sistem tegangan tinggi
- • Lantai ruang proses dan pelat pelapis
Presisi Manufaktur:
Kelurusan: 0,005 mm, tegak lurus: 0,005 mm, diverifikasi dengan interferometer laser.
Keunggulan dibandingkan pelat logam:
- • Tidak ada kontaminasi logam – sangat penting untuk proses semikonduktor
- • Tidak ada pelepasan gas – ideal untuk lingkungan vakum
- • Ketahanan aus dan kimia yang unggul
Kustomisasi:
Tersedia pola lubang khusus, profil tepi, permukaan bertingkat, dan area pemasangan berlapis logam.
