Cincin Isolasi PVD Alumina untuk Sistem Deposisi Uap Fisik
Cincin isolasi PVD St.Cera diproduksi dari alumina (Al₂O₃) dengan kemurnian tinggi 99,8% untuk digunakan dalam sistem deposisi uap fisik (PVD). Cincin ini menyediakan isolasi listrik antara komponen ruang, mencegah percikan api dan memastikan operasi plasma yang stabil. Sifat-sifat utamanya meliputi kekuatan dielektrik tinggi (15×10⁶ V/m), resistansi spesifik >10¹⁴ Ω·mm²/m, dan stabilitas termal hingga 1600°C. Kemampuan pemesinan presisi kami mencapai diameter luar hingga 600mm, diameter dalam hingga 0,2mm, kerataan 0,003mm, dan hasil akhir permukaan Ra0,1. Porositas nol dan inertness kimia cincin memastikan keandalan jangka panjang dalam lingkungan sputtering yang agresif.
Spesifikasi (berdasarkan 99,8% Al)₂O₃(Kemampuan manufaktur St.Cera):
| Milik | Nilai |
| Bahan | 99,8% Alumina (Gading) |
| Kepadatan | 3,93 g/cm³ |
| Kekuatan Lentur | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Kekuatan Dielektrik | 15×10⁶ V/m |
| Resistensi Spesifik | >10¹⁴ Ω·mm²/m |
| Diameter Luar Maksimum | 600 mm |
| Diameter Dalam Minimum | 0,2 mm |
| Ketebalan Maksimum | 100 mm |
| Kebosanan | 0,003 mm |
| Paralelisme | 0,002 mm |
| Lapisan Permukaan | Ra0.1 |
| Suhu Operasi Maksimum | 1600°C |
Aplikasi:
- · Isolator pelat pendukung target dalam sistem PVD
- · Isolator tembus ruang
- • Isolator cincin pelindung pada sistem sputtering
- • Isolasi tegangan tinggi di ruang plasma
Presisi Manufaktur:
Konsentrisitas: 0,01 mm, kebulatan: 0,002 mm, kelurusan: 0,005 mm, tegak lurus: 0,005 mm, diverifikasi dengan CMM.
AKeunggulan dibandingkan Isolator Polimer:
- • Mampu menahan suhu hingga 1600°C dibandingkan batas suhu polimer di bawah 300°C
- • Tidak terjadi pelepasan gas – menjaga integritas vakum.
- • Tahan terhadap erosi plasma dan serangan kimia
Kustomisasi:
Tersedia penampang khusus, fitur pemasangan, profil bertingkat, dan berbagai desain cincin konsentris.
