Chuck Vakum Alumina 12 Inci untuk Pemrosesan Wafer 300mm
Chuck vakum 12 inci St.Cera dirancang dengan presisi dari alumina (Al₂O₃) dengan kemurnian tinggi 99,8% untuk penanganan wafer 300mm. Chuck ini memiliki permukaan beralur halus (lebar alur 0,5–1,0 mm, jarak antar alur 2–3 mm) untuk memastikan distribusi vakum yang seragam di seluruh diameter 300mm. Kerataan dipertahankan dalam batas 5 μm, memungkinkan fiksasi wafer tanpa distorsi selama pemotongan, penggerindaan sisi belakang, dan inspeksi. Kekuatan lentur (361 MPa) dan kekerasan (16 GPa) material yang tinggi menjamin stabilitas dimensi jangka panjang bahkan di bawah siklus vakum berulang.
Spesifikasi (berdasarkan 99,8% Al₂O₃):
| Milik | Nilai |
| Diameter | 300 mm (12 inci) |
| Bahan | 99,8% Alumina (Gading) |
| Kepadatan | 3,93 g/cm³ |
| Kekuatan Lentur | 361 MPa |
| Kekerasan Vickers | 16 GPa |
| Kerataan (lebih dari 300 mm) | ≤5 μm |
| Lebar Alur | 0,5–1,0 mm |
| Suhu Operasi Maksimum | 800°C |
| Kekuatan Dielektrik | 15×10⁶ V/m |
Aplikasi:
Pemotongan dan pengukiran wafer 300mm
Penggilingan bagian belakang wafer (penyangga wafer tipis)
Inspeksi dan pemeriksaan optik
Chuck pengikat/pelepas sementara
Manufaktur:
Digerinda dan dipoles menggunakan CNC hingga rata sempurna, diberi alur dengan roda intan, dibersihkan secara ultrasonik, dan dikemas di ruang bersih Kelas 100. Setiap chuck diperiksa 100% untuk kerataan (interferometer laser) dan kedalaman alur (profilometer).
Keuntungan:
Generasi partikel rendah (≤0,05 partikel/cm²)
Inert secara kimia terhadap pelarut dan asam
Permukaan aman ESD (resistivitas >10¹³ Ω·cm)
Tersedia pola lubang vakum khusus dan port di bagian belakang.
